列入國家高技術研究發(fā)展計劃（863計劃）的“耐高溫壓力傳感器”經(jīng)過四年艱苦攻關，最近在西安交大研制成功。我國高溫壓力傳感器產(chǎn)品長期依賴進口的局面從此將徹底改變。 　　耐高溫壓力傳感器廣泛應用于航空航天、石油化工、汽車等領域高溫環(huán)境下的壓力測量。如測量航空航天發(fā)動機燃燒室在啟動、停車、不穩(wěn)定燃燒期間的各種瞬變壓強，從而掌握燃燒室壓強變化規(guī)律，為設計和評價發(fā)動機提供依據(jù)；測量石油化工領域各種反應釜、冶煉塔、采油井下的壓力，為安全生產(chǎn)、提高石油產(chǎn)量提供判據(jù)；測量能源動力、軍用火工品、汽車工業(yè)等在特種環(huán)境下的壓力等。這些領域?qū)δ透邷貕毫鞲衅鞯哪晷枨罂偭考s為4萬只，隨著國 民經(jīng)濟和國防現(xiàn)代化的發(fā)展，高溫壓力傳感器的市場需求將以每年10%～32%的速率遞增。而常規(guī)的硅壓力傳感器只能在120℃以下進行壓力測量，超過120℃時，傳感器的性能會嚴重惡化以至失效，當傳感器遇到被測流體大于1000℃瞬時高溫沖擊時，敏感元件就會被燒壞，導致信號處理系統(tǒng)和電路失調(diào)。長期以來，美國、瑞士、英國等國外公司的耐高溫壓力傳感器產(chǎn)品壟斷了國際市場，我國高溫壓力傳感器產(chǎn)品主要依賴進口， 一直受制于人。 　　研制我國有知識產(chǎn)權的耐高溫壓力傳感器列入國家高技術研究發(fā)展計劃后，西安交大蔣莊德教授率領課題組歷時4年努力，終于完成了這一高科技攻關項目。教育部日前組織專家對這一項目進行科技成果鑒定后認為，西安交大精密工程研究所利用MEMS(微型機械電子系統(tǒng))技術，研制出的硅隔離耐高溫微型壓力傳感器，能在-30℃～250℃環(huán)境下進行壓力測量，可完成1000MPa以下任意量程范圍的壓力測量， 能承受2000℃瞬時高溫沖擊。該項目屬國內(nèi)首創(chuàng)，有效解決了我國航空航天、石油化工、汽車工業(yè)等領域高溫環(huán)境下壓力測量的技術難題，解決了瞬時高溫沖擊下傳感器失效的難題，打破了國外同類產(chǎn)品對我國傳感器市場的壟斷，提升了我國這一行業(yè)的整體水平和國際競爭能力，具有很高的推廣和使用價值。 　　在該項目科技成果鑒定會上，以邱愛慈院士為主任的鑒定委員會認真聽取了課題組的技術研究報告、審查了查新報告、測試報告和用戶使用報告等相關材料，現(xiàn)場考察了耐高溫壓力傳感器產(chǎn)品和生產(chǎn)現(xiàn)場，通過討論和質(zhì)疑，專家認為該產(chǎn)品采用高能氧離子注入技術制作二氧化硅隔離層，將檢測電路與基底隔離開，避免高溫下檢測電路與基底之間的漏電流問題，解決了常規(guī)硅壓力傳感器120℃產(chǎn)生失效的技術難題；該產(chǎn)品將被測高溫流體與硅敏感元件相隔離， 避免了被測流體的瞬時高溫沖擊，解決了2000℃瞬時高溫沖擊的難題；采用鈦-鉑-金耐高溫布線系統(tǒng)，解決了高溫等惡劣環(huán)境下傳感器引線的技術難題。專家認為，該項目性能指標和總體水平達到國際先進水平，在敏感元件集成設計和傳感器結構設計等方面達到國際領先水平。 　　據(jù)業(yè)界人士介紹，西安交大研制的耐高溫壓力傳感器可滿足高溫、高壓、高頻響及 瞬時高溫沖擊等惡劣環(huán)境下的壓力測量，具有自主知識產(chǎn)權，填補了國內(nèi)在此領域的多項空白 ，促進了我國航空航天、石油化工，汽車工業(yè)等領域的工業(yè)自動化進程；進一步的后續(xù)開發(fā)， 還可生產(chǎn)變送器和與之配套的二次儀表產(chǎn)品，對于推動我國儀器儀表工業(yè)的發(fā)展，培養(yǎng)新的經(jīng) 濟增長點具有重要意義。 　　西安交大研制的耐高溫壓力傳感器經(jīng)在在航空618研究所、航天210所及西安宏邦石油儀器有限責任公司等單位投入試用表明，該產(chǎn)品成本低、性能穩(wěn)定可靠、工藝兼容性好、體積小、靈敏度高，不僅在靜態(tài)精度、耐高溫工作能力及動態(tài)響應能力等技術指標上可與國外同類先進產(chǎn)品媲美，而且在耐瞬時高溫沖擊、工作量程等性能指標上有獨到之處，有效解決了長期困擾企業(yè)的高溫下進行壓力測量的難題。