2019年7月31日，市科委科學(xué)儀器方法研究科研項(xiàng)目《掃描電子顯微鏡及能譜儀無損檢測(cè)微納米尺度金屬鍍層厚度共享配套操作方法與應(yīng)用研究》（項(xiàng)目編號(hào)16142202500）驗(yàn)收會(huì)議在我院召開。與會(huì)專家聽取了項(xiàng)目組的匯報(bào)，審閱了項(xiàng)目組提供的驗(yàn)收資料，經(jīng)質(zhì)詢和討論，專家組認(rèn)為該項(xiàng)目組完成了項(xiàng)目任務(wù)書規(guī)定的研究內(nèi)容，達(dá)到了考核指標(biāo)，一致同意項(xiàng)目通過驗(yàn)收。

該項(xiàng)目以微納米尺度金（Au）鍍層和銠（Rh）鍍層材料為對(duì)象，利用掃描電鏡及能譜儀和蒙特卡洛模擬，建立了能譜法測(cè)試結(jié)果與元素特征X射線深度分布曲線之間的關(guān)系。鍍層厚度能譜法檢測(cè)結(jié)果與掃描電鏡法測(cè)量結(jié)果的誤差不大于±10%，并提供了常見貴金屬鍍層厚度分析范圍。本項(xiàng)目制定的掃描電子顯微鏡及能譜儀無損檢測(cè)微納米尺度金屬鍍層厚度共享配套操作方法避免了傳統(tǒng)微納米金屬尺度鍍層厚度測(cè)試的弊端，可以快速、準(zhǔn)確、無損地進(jìn)行貴金屬鍍層厚度分析，為我國集成電路、貴金屬飾品等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供技術(shù)依據(jù)。

經(jīng)中國科學(xué)院上海科技查新咨詢中心檢索，該項(xiàng)目具有新穎性，綜合技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平。