中國(guó)計(jì)量網(wǎng) http://m.etvsebi.cn/
中國(guó)計(jì)量網(wǎng)——計(jì)量行業(yè)門戶網(wǎng)站
計(jì)量資訊速遞
您當(dāng)前的位置: 首頁(yè) > 新聞 > 國(guó)際資訊

澳大利亞研制納米電子束曝光系統(tǒng)

發(fā)布時(shí)間:2009-09-25 作者: 來(lái)源: 瀏覽:904

      據(jù)澳大利亞莫納什大學(xué)網(wǎng)站報(bào)道,澳大利亞研究人員正在研制世界最強(qiáng)大的納米設(shè)備之一??電子束曝光系統(tǒng)(EBL)。該系統(tǒng)可標(biāo)記納米級(jí)的物體,還可在比人發(fā)直徑小1萬(wàn)倍的粒子上進(jìn)行書寫或者蝕刻。

  電子束曝光技術(shù)可直接刻畫精細(xì)的圖案,是實(shí)驗(yàn)室制作微小納米電子元件的最佳選擇。這款耗資數(shù)百萬(wàn)美元的曝光系統(tǒng)將在澳大利亞亮相,并有能力以很高的速度和定位精度制出超高分辨率的納米圖形。該系統(tǒng)將被放置在即將完工的墨爾本納米制造中心(MCN)內(nèi),并將于明年3月正式揭幕。

  MCN的臨時(shí)負(fù)責(zé)人阿彼得?凱恩博士表示,該設(shè)備將幫助科學(xué)家和工程師發(fā)展下一代微技術(shù),在面積小于10納米的物體表面上實(shí)現(xiàn)文字和符號(hào)的書寫和蝕刻。此外,這種強(qiáng)大的技術(shù)正越來(lái)越多地應(yīng)用于鈔票詐騙防偽、微流體設(shè)備制造和X射線光學(xué)元件的研制中,還可以支持澳大利亞同步加速器的工作。

  凱恩說(shuō):“這對(duì)澳大利亞科學(xué)家研制最新的納米儀器十分重要,其具有無(wú)限的潛力,目前已被用于油漆、汽車和門窗的凈化處理,甚至對(duì)泳衣也能進(jìn)行改進(jìn)。而MCN與澳大利亞同步加速器相鄰,也能吸引更多的國(guó)際研究團(tuán)隊(duì)的目光?!?/P>

  MCN的目標(biāo)是成為澳大利亞開放的、多范圍的、多學(xué)科的微納米制造中心。該中心將支持環(huán)境傳感器、醫(yī)療診斷設(shè)備、微型納米制動(dòng)器的研制,以及新型能源和生物等領(lǐng)域的研究和模型繪制。除電子束曝光系統(tǒng)外,MCN中還包含了高分辨率雙束型聚焦離子束顯微鏡、光學(xué)和納米壓印光刻儀、深反應(yīng)離子蝕刻儀和共聚焦顯微鏡等眾多設(shè)備。

  凱恩認(rèn)為:能夠介入這種技術(shù)使我們的科學(xué)家十分興奮,它可以確保我們?cè)谖磥?lái)十年內(nèi)在工程技術(shù)前沿領(lǐng)域的眾多方面保持領(lǐng)先地位,也將成為科學(xué)家在納米范圍內(nèi)取得更大成就的重要基點(diǎn)。

 


 

 
 
 

分享到:
通知 點(diǎn)擊查看 點(diǎn)擊查看
公告 征訂通知 征訂通知
會(huì)員注冊(cè)
已有賬號(hào),
會(huì)員登陸
完善信息
找回密碼