5月19日，美國(guó)熱電集團(tuán)向外界宣布，該公司全新一款X射線(xiàn)探測(cè)器問(wèn)世。該產(chǎn)品可配置在熱電集團(tuán)的MicroXRT系列微束X熒光分析系統(tǒng)上，對(duì)于半導(dǎo)體及微電子行業(yè)的薄膜分析，該探測(cè)器有著其他產(chǎn)品無(wú)可比擬的性能優(yōu)勢(shì)。 微束X射線(xiàn)熒光分析系統(tǒng)采用了能量色散X熒光光譜和聚焦光路技術(shù)，是一種對(duì)于金屬薄膜進(jìn)行分析的理想工具。而熱電集團(tuán)此次發(fā)布的全新固態(tài)X射線(xiàn)探測(cè)器將極大地?cái)U(kuò)展系統(tǒng)的使用靈活性，該技術(shù)將不再需要液氮冷卻，維護(hù)更方便，可快速啟停。 對(duì)于薄膜分析領(lǐng)域，熱電的固態(tài)Si(Li) 探測(cè)器具有非常高的分辨率和靈敏度。同時(shí)，由于Si(Li)探測(cè)器的能量范圍上限可達(dá)29 keV，因而可以對(duì)更重的元素進(jìn)行檢測(cè)。而10mm的有效檢測(cè)器區(qū)域，使得Si(Li)探測(cè)器具有更窄的幾何角度以及大取樣角，從而大大改善了對(duì)于痕量元素的檢出限。 作為一項(xiàng)相對(duì)而言較新的技術(shù)，熱電集團(tuán)的固態(tài)硅漂移探測(cè)器對(duì)于那些要求有高計(jì)數(shù)率或是高通量的應(yīng)用領(lǐng)域尤為理想。它可以提供更短的分析時(shí)間，更出色的精確度，并且計(jì)數(shù)率統(tǒng)計(jì)速度較之以往提高了十倍。 在一些對(duì)于分辨率和靈敏度有著苛刻要求的分析領(lǐng)域，熱電集團(tuán)還可以提供一項(xiàng)該公司的專(zhuān)利技術(shù)??真空導(dǎo)管技術(shù)（Vacuum ConduitT），作為微束X射線(xiàn)熒光分析系統(tǒng)的選件。這項(xiàng)技術(shù)將使X射線(xiàn)束產(chǎn)生與檢測(cè)通道處于真空狀態(tài)而無(wú)需再對(duì)樣品室抽真空，樣品可直接暴露在大氣環(huán)境下。