美國FEI公司日前成功開發(fā)出了分辨率高達0.07nm的電子顯微鏡“Titan 80-300”。從分辨率來講，作為TEM（透射電子顯微鏡）使用時為0.07nm，用作STEM（掃描透射電子顯微鏡）時為0.1nm。 FEI總裁兼首席執(zhí)行官Vahe Sarkissian表示，該產(chǎn)品在目前市場上銷售的電子顯微鏡中實現(xiàn)了全球最高的分辨率。過去的電子顯微鏡不一定對提高分辨率的像差補償技術(shù)進行優(yōu)化。但此次則引進了與像差補償技術(shù)相適應(yīng)的設(shè)計，這一點在市售產(chǎn)品中也是第一次嘗試。該產(chǎn)品將于8月在美國檀香山召開的“2005年顯微術(shù)與顯微分析技術(shù)會議（2005 Microscopy and Microanalysis meeting）”上首次展出并正式上市。