2月17日，美國熱電集團最新推出了一款專用于半導體晶片分析的傅立葉變換紅外光譜系統(tǒng)??Nicolet ECO/RS，該系統(tǒng)采用了熱電集團最新的傅立葉變換紅外光譜平臺??Nicolet 6700。 眾所周知，傅立葉變換紅外光譜技術對于半導體加工而言，是一種理想的檢測手段。而半導體加工無論是對于原材料還是工藝過程都有著嚴格的控制要求，需要能夠對于純度超過99.999%的材料進行檢測，并且檢測尺度主要是在納米級。而作為一種快速、無損的檢測技術，傅立葉變換紅外光譜儀既可用于相關企業(yè)的質檢實驗室，也可用于現場以監(jiān)控生產過程中攙雜劑在硅片中的均一性。由于硅有非常好的紅外透過性，因此傅立葉變換紅外技術在此方面的應用包括：針對外延生長的晶體薄膜、微機電系統(tǒng)（MEMS）設備和絕緣硅（SOI）材料的厚度測量，硅晶體中間隙氧和取代碳含量的測定以及介電薄膜表征等。 此外，該型產品采用了熱電集團新一代 ETC EverGlo 紅外源，在提供穩(wěn)定信號的同時，極大延長了紅外源的使用壽命。為了應付以前難以處理的紅外樣品，還新增加了一個 Turbo Mode 功能。敷金的光學器件和全新設計的光路系統(tǒng)則極大增強了光信號通量。